氮化硅陶瓷的烧结方式

烧结方法

制备原理

优点

缺点

反应烧结

把Si粉或Si粉与Si3N4粉的混合物成型后进行预氮化，再在1400℃左右完全氮化

烧结无收缩，使用于制造形状复杂，尺寸精确的零件，成本低，不需要添加剂

氮化时间较长

热压烧结

对氮化硅粉末和烧结助剂在高温下单向加压烧结

所得陶瓷与反应烧结相比，强度高，密度大，致密度高，制造周期短。

制造成本高，烧结设备复杂，机械加工困难

常压烧结

高纯氮化硅粉末与少量烧结助剂混合，通过烧结、成型等工序制备

可获得形状复杂，性能优良的陶瓷

烧结收缩率较大，一般为16-26%，制品易开裂变形

气压烧结

Si3N4压坯在5-12Mpa的氮气在1800-2100℃下进行烧结

所得陶瓷致密度高，高韧性，高强度，可制备形状复杂的制品，适合大规模生产

烧结温度高